4月29日，中微半導體設備（上海）股份有限公司發布2025 年第一季度報告。在過去14年保持營業收入年均增長大于35%的基礎上，2025年第一季度營業收入繼續保持高速增長，同比增長35.40%，達到21.73億元。

    公司本期營業收入為21.73億元，同比增長35.40%。公司的等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現量產。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發的六種薄膜設備已經順利進入市場，設備性能達到國際領先水平，并同步推進多款金屬薄膜氣相設備、新一代等離子體源的PECVD設備的開發，增加薄膜設備的覆蓋率。公司EPI設備已順利進入客戶端量產驗證階段，已完成多家先進邏輯器件與MTM器件客戶的工藝驗證，并且結果獲得客戶高度認可。在泛半導體設備領域，公司正在開發更多化合物半導體外延設備，陸續付運至客戶端開展生產驗證。

    公司本期歸屬于上市公司股東的凈利潤為3.13億元，較上年同期增加0.64億元，同比增長約25.67%，本期增加的主要原因：（1）由于本期營業收入增長35.40%，毛利較去年增加約2.20億元。（2）由于市場對中微開發多種新設備的需求急劇增長，公司持續加大研發力度，以盡快補齊國產高端半導體設備短板，實現趕超，為持續增長打好基礎。本期公司研發投入約6.87億元，較上年同期增加3.26億元，同比增長約90.53%。本期研發費用較上年同期增加2.50億元，同比增長約116.80%。（3）本期公司持有的以公允價值計量的股權投資本期盈利約0.04億元，與上年同期的虧損0.41億元相比，增加約0.45億元。（4）本期公司計入其他收益的政府補助較上年同期增加約0.43億元。

    本期歸屬于上市公司股東的扣除非經常性損益的凈利潤為2.98億元，較上年同期增加0.35億元，同比增長13.44%，主要系公司毛利增加2.20億元，本期研發費用增長2.50億元，以及研發加計扣除增長導致所得稅費用同比減少約0.22億元。